¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî, ¿Ë½ºÆ®·Ò ½Ã´ë Ĩ Á¦Á¶ À§ÇÑ ÆÐÅÍ´× ¼Ö·ç¼Ç Æ÷Æ®Æú¸®¿À È®´ë

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¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî(www.appliedmaterials.com/ko)°¡ ¡®¿Ë½ºÆ®·Ò(Angstrom, 0.1 ³ª³ë¹ÌÅÍ) ½Ã´ë¡¯ ¹ÝµµÃ¼ ĨÀÇ ÆÐÅÍ´× ¿ä±¸»çÇ× ÇØ°áÀ» À§ÇØ ¼³°èµÈ Á¦Ç° ¹× ¼Ö·ç¼Ç Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ¹ßÇ¥Çß´Ù.

¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷üµéÀº 2nm ÀÌÇÏ ³ëµå °øÁ¤À¸·Î ÀüȯÇϸ鼭 EUV ¹× ÇÏÀÌ NA EUV ÆÐÅÍ´× °ü·Ã ¿¡Áö ·¯ÇÁ´Ï½º(roughness), ÆÁ °£°Ý(tip-to-tip spacing) Á¦ÇÑ, ºê¸´Áö °áÇÔ, ¿¡Áö ¹èÄ¡ ¿À·ù °°Àº ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϴµ¥ »õ·Î¿î Àç·á °øÇÐ ¹× °èÃø ±â¼ú·ÎºÎÅÍ Å« µµ¿òÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù.

äÅà Áõ°¡ ¹× »õ·Î¿î Àû¿ë ºÐ¾ß °³¹ß·Î ¸ð¸àÅÒ ¸ÂÀº ¡®½ºÄÃÇÁŸ¡¯

Áö³­ÇØ ¾îÇöóÀ̵å´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç°¡ ÆÐÅÏ ÇüŸ¦ ´Ã·Á EUV ´õºí ÆÐÅÍ´× ´Ü°è¸¦ ÁÙÀÓÀ¸·Î½á ½Ì±Û EUV ¶Ç´Â ÇÏÀÌ NA EUV ³ë±¤¿¡ ºñÇØ ÆÁ °£°ÝÀ» ´õ Á¼Èú ¼ö ÀÖ´Â ¡®¼¾Æ©¶ó ½ºÄÃÇÁŸ(Centura Sculpta)¡¯ ÆÐÅÍ´× ½Ã½ºÅÛÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù. ¾îÇöóÀ̵å´Â ÇöÀç ¸ðµç ÃÖ÷´Ü ·ÎÁ÷ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç¿Í Çù·ÂÇÏ¸ç ½ºÄÃÇÁŸ Àû¿ë ºÐ¾ß¸¦ ³ÐÈ÷°í ÀÖ´Ù. ÀÏ·Ê·Î, ÆÁ °£°ÝÀ» ÁÙÀÌ´Â °Í ¿Ü¿¡µµ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç´Â ½ºÄÃÇÁŸ¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ºê¸´Áö °áÇÔÀ» Á¦°ÅÇÔÀ¸·Î½á ÆÐÅÍ´× ºñ¿ëÀ» Àý°¨ÇÏ°í Ĩ ¼öÀ²À» °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

ÇÁ¶óºÎ ¶óÀÚ(Prabu Raja) ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ºÎ »çÀåÀº ¡°¾÷°è ¼±µµ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµéÀÌ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡ ½ºÄÃÇÁŸ ½Ã½ºÅÛÀ» µµÀÔÇÏ°í EUV ´õºí ÆÐÅÍ´× ´Ü°è Ãà¼Ò ¿Ü¿¡µµ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¸¦ Ãß°¡ ¸ð»öÇϸ鼭 ÁÁÀº ¼º°ú¸¦ °ÅµÎ°í ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°½ºÄÃÇÁŸ´Â ÆÐÅÍ´× ¿£Áö´Ï¾î ÅøŶ¿¡ ÆíÀÔµÈ ¿ÏÀüÈ÷ »õ·Î¿î µµ±¸´Ù. ¿£Áö´Ï¾îµéÀÌ »ó»ó·ÂÀ» ¹ßÈÖÇØ »õ·Î¿î ¹æ½ÄÀ¸·Î ¾î·Á¿î ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϸ鼭 ´õ ¸¹Àº ºÐ¾ß¿¡ »ç¿ëµÉ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.

¶óÀ̾𠷯¼¿(Ryan Russell) ÀÎÅÚ ·ÎÁ÷ ±â¼ú °³¹ß ±×·ì ºÎ»çÀåÀº ¡°ÆÐÅÏ Çü¼ºÀº ÀÎÅÚÀÌ °øÁ¤ ±â¼ú ·Îµå¸ÊÀ» °¡¼ÓÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Çõ½ÅÀûÀÎ ÇØ°áÃ¥¡±À̶ó¸ç ¡°ÀÎÅÚÀº ¿Ë½ºÆ®·Ò °øÁ¤ ³ëµå¸¦ À§ÇØ ½ºÄÃÇÁŸ ½Ã½ºÅÛÀ» µµÀÔÇÑ ÈÄ Ã³¸®·® °³¼±, ¿þÀÌÆÛ ¼öÀ² Çâ»ó, °øÁ¤ º¹À⼺ °¨¼Ò, ºñ¿ë Àý°¨ µîÀÇ È¿°ú¸¦ °Åµ×´Ù. ÆÐÅÏ Çü¼ºÀº »õ·Î¿î ÷´Ü ÆÐÅÍ´× Àü·«À» ÃËÁøÇÏ°í, ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÇÁ¸°Æ® °æ°è¸¦ È®ÀåÇÏ´Â ±æÀ» ¿¬´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.

¹ÚÁ¾Ã¶ »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎ ½Ä°¢ ±â¼úÆÀ ¸¶½ºÅÍ´Â ¡°ÆÐÅÍ´× Çü¼º ±â¼úÀº EUV ½Ã´ë ÁÖ¿ä ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ´Â Çõ½Å ±â¼ú¡±À̶ó¸ç ¡°»ï¼ºÀº Ãʱ⠰³¹ß ÆÄÆ®³Ê·Î 4nm °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ½ºÄÃÇÁŸ ½Ã½ºÅÛÀ» Æò°¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ºñ¿ë°ú º¹À⼺ °¨¼Ò, ¼öÀ² Áõ°¡ °°Àº ±àÁ¤Àû °á°ú¸¦ ±â´ëÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.

EUV ¶óÀÎ ¿¡Áö ·¯ÇÁ´Ï½º ÇØ°áÇÏ´Â »õ·Î¿î ½Ä°¢ ±â¼ú

EUV ½Ã½ºÅÛÀº Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¿¡¼­ ¶óÀΰú °ø°£ ÆÐÅÏÀ» ¼±¸íÇÏ°Ô Á¤ÀÇÇϴµ¥ ÇÊ¿äÇÑ ±¤ÀÚ¸¦ ´õ Àû°Ô »ý¼ºÇÑ´Ù. ±× °á°ú °ÅÄ£ ¶óÀÎ ¿¡Áö°¡ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ½Ä°¢µÅ Ĩ¿¡ ´Ü¼±, ´Ü¶ô ȸ·Î°¡ »ý¼ºµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ °°Àº ¼öÀ² ÀúÇÏ °áÇÔÀº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç°¡ ¶óÀΰú ÆÐÅÏ °£ °£°ÝÀÌ ´õ Á¼Àº ¿Ë½ºÆ®·Ò ½Ã´ë¿¡ ¼³°è¸¦ ±¸ÇöÇϸ鼭 ´õ¿í ºó¹øÈ÷ ¹ß»ýÇÏ°í ÀÖ´Ù.

¾îÇöóÀ̵å´Â µ¿ÀÏ Ã¨¹ö¿¡¼­ ÁõÂø°ú ½Ä°¢À» ¸ðµÎ Áö¿øÇÏ´Â ¡®Sym3 Y ¸Å±×³Ñ(Magnum)¡¯ ½Ä°¢ ½Ã½ºÅÛÀ» °ø°³Çß´Ù. µ¶Ã¢ÀûÀÎ ÀÌ ½Ã½ºÅÛÀº °ÅÄ£ ¿¡Áö¸¦ µû¶ó ¹°ÁúÀ» ÁõÂøÇØ EUV ¶óÀÎ ÆÐÅÏÀ» ¿þÀÌÆÛ ½Ä°¢ Àü ´õ ¸Å²ô·´°Ô ¸¸µé¾î ¼öÀ²À» ³ôÀÌ°í ¶óÀÎ ÀúÇ×À» °¨¼Ò½ÃÄÑ Ä¨ ¼º´É°ú Àü·Â ¼Òºñ¸¦ °³¼±ÇÑ´Ù. Sym3 Y ¸Å±×³ÑÀº ÆÄ¿îµå¸® ·ÎÁ÷¿¡¼­ ÀÌ¹Ì ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çÀÇ Áß¿äÇÑ ½Ä°¢ ºÐ¾ß¿¡ äÅõǰí, ÇöÀç ¿Ë½ºÆ®·Ò ½Ã´ë ³ëµå¿¡¼­ EUV ÆÐÅʹ׿¡ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß¿¡¼­ Sym3 Y ¸Å±×³ÑÀº D·¥ EUV ÆÐÅʹ׿¡ °¡Àå ³Î¸® äÅÃµÈ ½Ä°¢ ±â¼úÀÌ´Ù.

¿Ë½ºÆ®·Ò ½Ã´ë ÆÐÅÍ´×À» À§ÇÑ ¡®»õ·Î¿î CVD ÆÐÅÍ´× Çʸ§¡¯

¾îÇöóÀ̵å´Â ¡®ÇÁ·Îµà¼­ XP ÆÄÀÌ¿À´Ï¾î CVD(Producer XP Pioneer CVD)¡¯ ÆÐÅÍ´× Çʸ§À» °ø°³Çß´Ù. ÆÄÀÌ¿À´Ï¾î Çʸ§Àº Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ÆÐÅÏ °øÁ¤ Àü ¿þÀÌÆÛ¿¡ ÁõÂøµÇ¸ç, ¶Ù¾î³­ Ãæ½Çµµ·Î ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¿øÇÏ´Â ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇϱâ À§ÇØ Æ¯º°È÷ ¼³°èµÆ´Ù. ÆÄÀÌ¿À´Ï¾î´Â ÃÖ÷´Ü °øÁ¤ ³ëµå¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ½Ä°¢ È­ÇÐ ¹°Áú¿¡ ´ëÇÑ Åº¼º·ÂÀÌ ³ôÀº °íÀ¯ÀÇ °í¹Ðµµ ź¼Ò È­ÇнÄÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇØ Ãøº® ÆÐÅÏ ÇüÅ ±ÕÀϵµ°¡ ¶Ù¾î³­ ´õ¿í ¾ãÀº Çʸ§ ½ºÅÃÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù. ÁÖ¿ä ¸Þ¸ð¸® Á¦Á¶»çµéÀº ÀÌ¹Ì ÆÄÀÌ¿À´Ï¾î¸¦ äÅÃÇØ D·¥ ÆÐÅʹ׿¡ ÀÌ¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ÆÄÀÌ¿À´Ï¾î´Â ¾îÇöóÀ̵åÀÇ ½ºÄÃÇÁŸ ÆÐÅÏ Çü¼º ±â¼ú°ú ÇÔ²² ÃÖÀûÈ­µÅ ÆÐÅÍ´× ¿£Áö´Ï¾îµéÀº ÆÐÅÏÀ» ÃÖ´ë·Î ´Ã¸®¸é¼­ ±âÁ¸ EUV ÆÐÅÏÀ» ¾ö°ÝÈ÷ Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÆÄÀÌ¿À´Ï¾î´Â »õ·Î¿î Sym3 Y ¸Å±×³Ñ ½Ä°¢ ½Ã½ºÅÛ°ú ÇÔ²² ÃÖÀûÈ­µÅ ·ÎÁ÷ ¹× ¸Þ¸ð¸® °øÁ¤¿¡ Áß¿äÇÑ ½Ä°¢ ºÐ¾ß¿¡¼­ ±âÁ¸ ź¼Ò Çʸ§º¸´Ù ´õ ³ôÀº ¼±Åúñ¿Í Çâ»óµÈ Á¦¾î·ÂÀ» Á¦°øÇÑ´Ù.

¹èÄ¡ ¿À·ù ¹æÁöÇÏ´Â ¡®¾Æ¼¿Å¸¡¯

¾îÇöóÀ̵åÀÇ ¾÷°è ¼±µµ ÀüÀÚºö(eBeam) °èÃø ½Ã½ºÅÛÀº ¼¼°è À¯¼öÀÇ ·ÎÁ÷ ¹× ¸Þ¸ð¸® ±â¾÷ÀÌ °¡Àå Áß¿äÇÑ EUV ÆÐÅÍ´× È°¿ë ºÐ¾ß¸¦ °³¹ßÇÏ°í Á¦¾îÇϴµ¥ ÀÌ¿ëµÈ´Ù. À̵éÀÇ °¡Àå Å« °úÁ¦´Â °¢ Ãþ¸¶´Ù ¼ö½Ê¾ï °³ÀÇ Çü»óÀ» ºóÆ´¾øÀÌ Á¤ÀÇÇÏ°í ¹èÄ¡ÇØ Ä¨ÀÇ ´ÙÀ½ Ãþ¿¡ ÀÖ´Â ¹Ý´ë Çü»ó°ú ÀûÀýÈ÷ Á¤·Ä½ÃÅ°´Â °ÍÀÌ´Ù. ÀÛÀº ¹èÄ¡ ¿À·ù´Â Ĩ ¼º´É°ú Àü·Â ¼Òºñ¸¦ ÀúÇϽÃÅ°°í, ¿À·ù°¡ Å©¸é ¼öÀ²ÀÌ ¶³¾îÁö´Â °áÇÔÀÌ ¹ß»ýÇÑ´Ù.

¾îÇöóÀ̵å´Â ÄÁÅõ¾î(contour)¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¼³°è ±â¹Ý °èÃø ºÐ¾ß ±â¼ú ¼±µµ ±â¾÷ ¾Æ¼¿Å¸ ³ª³ë±×·¡ÇȽº(Aselta Nanographics)¸¦ ÀμöÇß´Ù. ÄÁÅõ¾î¸¦ ÅëÇØ ÆÐÅÍ´× ¿£Áö´Ï¾î´Â ÆÐÅÍ´× Çʸ§°ú ¿þ¾îÆÛ¿¡¼­ °¢ ·¹½ÃÇÇ°¡ ¸¸µé¾î³»´Â Çü»ó¿¡ ´ëÇØ ¸î ¹è ´õ ¸¹Àº µ¥ÀÌÅ͸¦ ¼öÁýÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ µ¥ÀÌÅÍ´Â ´Ù½Ã ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿Í °øÁ¤ È帧¿¡ Á¦°øµÅ ´õ¿í Á¤È®ÇÑ ¿ÂĨ(on-chip) ±â´É°ú ¹èÄ¡¸¦ »ý¼ºÇÑ´Ù.

Å°À̽º À£½º(Keith Wells) ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî À̹ÌÁö ¹× ÇÁ·Î¼¼½º Á¦¾î ÃÑ°ý ±×·ì ºÎ»çÀåÀº ¡°¾Æ¼¿Å¸ÀÇ ÄÁÅõ¾î ±â¼úÀº ÇöÀç ¾îÇöóÀ̵åÀÇ º£¸®Æ¼ SEM(Verity SEM) CD-SEM(ÆÐÅÏ °Å¸® ÃøÁ¤ ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ) ½Ã½ºÅÛ°ú ÇÁ·ÎºñÀü(PROVision) ÀüÀÚºö °èÃø ½Ã½ºÅÛ¿¡ ÅëÇյŠ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç¿¡ ¿Ë½ºÆ®·Ò ½Ã´ëÀÇ ¸ðµç °èÃø ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ´Â °íÀ¯ÀÇ ¿£µå Åõ ¿£µå ±â´ÉÀ» Á¦°øÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.

¾îÇöóÀ̵å ÆÐÅÍ´× Æ÷Æ®Æú¸®¿À ¹× ºñÁî´Ï½º ¼ºÀå

2012³âºÎÅÍ ¾îÇöóÀ̵å´Â ÆÐÅÍ´×À» R&D ¿ì¼±¼øÀ§¿¡ µÎ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ½Å»ý EUV ¹× ÇÏÀÌ NA EUV È°¿ë ºÐ¾ß¿¡¼­ °í°´ÀÇ °¡Àå ¾î·Á¿î ÆÐÅÍ´× ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Å±Ô Á¦Ç°°ú ¼Ö·ç¼Ç Á¦°ø¿¡ ÅõÀÚÇØ¿Ô´Ù. ÇöÀç ¾îÇöóÀ̵åÀÇ ÆÐÅÍ´× Á¦Ç° Æ÷Æ®Æú¸®¿À´Â CVD(È­Çбâ»óÁõÂø)¿Í ALD(¿øÀÚÃþÁõÂø), 4Á¾ÀÇ Àç·á Á¦°Å(½Ä°¢, ¼±ÅÃÀû Á¦°Å, ÆÐÅÍ´×, CMP), ¿­ °øÁ¤, ÀüÀÚºö °èÃø µîÀ» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. ¾îÇöóÀ̵å´Â ÆÐÅÍ´× À¯È¿ ½ÃÀå(SAM) ±Ô¸ð¸¦ 2013³â ¾à 15¾ï´Þ·¯¿¡¼­ 2023³â 80¾ï´Þ·¯ ÀÌ»ó, °°Àº ±â°£ ±âȸ Á¡À¯À²À» ¾à 10%¿¡¼­ 30% ÀÌ»ó Áõ°¡½ÃÄ×´Ù.

¾ð·Ð¿¬¶ôó: ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ÄÚ¸®¾Æ È«º¸´ëÇà KPR Á¤¼÷¿µ 02-3406-2183

ÀÌ ´º½º´Â ±â¾÷¡¤±â°ü¡¤´Üü°¡ ´º½º¿ÍÀ̾ ÅëÇØ ¹èÆ÷ÇÑ º¸µµÀÚ·áÀÔ´Ï´Ù.